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無塵室的特性

日期:2022-01-11 16:12
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摘要:
無塵室的特性為以下五項:
(l)耐久性;(2)成本; (3)適應性; (4)可維護性;(5)清洗 。
(1) 耐久性:
  無塵室要有符合環境、無塵室內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統的耐久材料。而耐久性,同時也依賴無塵室等級來建造。半導體 Fabs 傾向選擇鋁,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物質。
(2) 清洗:
  在制藥和生物工學工業,無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過性病毒或**的污染之特性。在 biotech 市場,清洗真正地是一個*重要的企業。
(3) 成本:
  微電子 C/R 建設費可能花費到億。fab 能更快的被建造起來,產品也就能更快達到這市場。 許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而 "錢" 將成為一個很重要的考慮因素。
(4) 適應性:
  一些廠商認為適應性可節省一筆**,而適應性意指系統可任意移動或改變而不會招**大的損失。C/R 的擁有者和設計者的能力為改變一 C/R的關鍵,所以他們從不將*初的設計定型。
(5) 維護性:
  對無塵室 C/R 而言,較嚴格要求的部分為地板、天花板,以及墻壁的部分。 至于維修的問題,對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優先級。在應用力面、天花板、地板及墻壁三者之中*重要的為天花板,其包含 HEPA 及 ULPA 等濾網,其可過濾掉房間的微粒子,且其常會因各個不同的需要,便其分開來,供應各個不同區域的小房間,曾有人說 :若建造之預算因某種原因被限制,除了少數的小錢外,其天花板將趨于更貴的地步,其實天花板是一個頗復雜的系統其必須嚴格地過濾粒子,故其設計必須**。
 
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